gdpomeas
硅晶圆属于精密产品,表面缺陷非常微小,人眼无法识别,需要采用高分辨率显微成像系统进行图像采集,完成缺陷识别。
检测方案:
1. 镜头使用4K变倍工业镜头;
2. 搭配1英寸高清CCD相机;
3. 配合普密斯视觉光源及图像处理系统。
检测效果:
4K变倍工业镜头具有大靶面、高分辨率、大视野等特点,可以真实高倍率的还原硅晶圆表面图像,帮助更快更轻松的识别硅晶圆崩边瑕疵。
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